无色到淡黄色的透明油状单组份液体，是专为超高真空应用而设计的，润滑油的蒸汽压和回流率很低，以致在一些超高和超净的真空应用中不需要使用陷阱或制冷。在所有的硅扩散泵油中它的苯基内容最高，抗辐射能力最好。