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IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感

IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器

IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器

德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，ZX推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于极端环境如高真空与高辐射环境并且具有极高精度与极高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量，实时位移测量等。 

 德国国家计量院（PTB）对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证。值得指出，在0-3米的工作距离内， IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国国家标准，使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。

IDS3010激光干涉仪产品特点 

+  设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成

+  工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面

+  测量速度快，定位样品采样带宽10MHz

+  环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度

+  校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）

+  测量精度高，探测器分辨率高达1 pm

IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器=精密制造

IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器=精密测量

IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器=质量保证

IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器——超高精度非接触式轴误差测量

IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器——激光干涉测量

IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器——纳米平移台质量控制方案

IDS3010皮米精度激光干涉仪激光位移传感器——主轴转动误差控制