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 parker派克气体质量流量控制器流量范围从0-5 sccm到0-1000slpm（氮气） I/O（输入&输出）可选模拟和数字信号 设定点的响应时间不超过1sec 可实现本地/远程设置/显示 控制精度可达实际流量的1%parker派克数字液体质量流量控制器热式测量系统测量准确,流体温度上升不超过5°C专利控制电路与压电执行控制阀在低流量范围提供快速、稳定的控制parker派克浮子流量计

65mm和150mm流量管可选      流量管和阀可更换，可根据需求在线变更结构

阀体可选择一体式锻造或侧板式结构parker派克仪表减压阀

所有型号均为直动式，无泄放。 满足仪表分析系统装置清洁度要求 专为低流量管路提供高精度的控制，典型应用于仪表系统 可选择特殊位置接口、阀块安 装结构或将减压阀集成到仪器设备中