扫描电子显微镜+X射线能谱仪(SEM+EDS)
    扫描电子显微镜利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，最大放大倍数可达30万倍，同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析

测试范围：

SEM的二次电子成像分辨率约3nm

背散射电子成像分辨率约300nm

EDS成分分析的元素范围Be～U

分析深度约1μm

检测下限约1%

空间分辨率约1μm

服务项目：

各种固体材料的形貌分析

微区化学成分检测

样品成分的线分布和面分布分析