光氧催化设备采用高能高臭氧UV紫外线光束、氧化反应催化剂、高能离子发生装置的组合工艺来降解有机废气，改变恶臭、刺激型气体使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，通过高能紫外线光束照射、催化剂的氧化反应、正氧离子的氧化反应，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。