太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。

◆工作温度：300~1300℃ 
◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制 
◆恒温区长度：1080mm（可根据用户要求定制） 
◆温区精度（静态闭管测试）： 
600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃ 
300℃≤工作温度≤600℃：±1℃ 
◆单点温度稳定性（静态闭管测试）： 
600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃/24h 
300℃≤工作温度≤600℃：±1℃/24h 
◆温度斜变能力： 
最大可控升温速度（300～1300℃）：15℃/min 
最大降温速度（1300～900℃）：5℃/min 
◆气体流量设定精度：±2％FS 
◆气路系统气密性：1×10-7PA.m3/s 
◆自动送料装置行程：~2000mm 
速度：5~1000mm/min 
SiC浆承重 19kg 
◆装片数量 400片/管 
◆净化台洁净度 100级（10000级厂房） 
◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz； 
◆冷却水：2～4Kgf/cm2，～8L/min 
太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软著陆扩散两种形式