工厂转让2台南光1100  9成新镀膜机 包安装调试服务（销售技术杨经理：18103045976）

 型　式：1100DBI

产品参数：

 真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H) 

工件架  Ф1130mm 

工件架转速 10rpm to 50rpm(可变) 

光学膜厚控制 350nm to 1100nm 反射式/透射式 

排气系统 机械泵2个扩散泵Polycold（或2个冷凝泵） 

 性 能

达到压力 7.0×10-5Pa以下 

排气时间  15分（大气压～1.3×10-3Pa） 

基板温度 最高：350℃ 

工作条件

设备尺寸 约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)  

电源 3相,200v,50/60Hz, 约104KVA  

水流量 140升/分以上 

空气压力 0.5MPa以上  

重量 约9000kg