全自动光谱椭偏仪(PH-ASE型)把使用者从烦琐的手动调节样品高度和倾斜度工作中解放出来，样品对准是为了保证椭偏仪测量的可重复性和精确性。已获得专利的自动样品对准装置能够显著减少操作失误；能够工作于透明或反射基底；能够进行地貌图测量，包括翘曲晶片。



全自动光谱椭偏仪 - 产品特点

■ 全自动样品校准
■ 高测量速率 < 8秒
■ 消除了全波段范围内的盲点
■ 可测量透明和吸收基底
■ 高测量精度
■ 具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
■ 友好的软件界面，强大数据分析功能
■ 具有实验数据和模拟数据三维绘图功能



光谱椭偏仪 - 技术指标

■ 光源：氙灯
■ 光斑直径：1-3mm
■ 入射角范围：20°到90°自动控制
■ 波长范围：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°
■ 波长精度：1nm
■ 测量时间: < 8s （取决于测量模式和粗糙度）
■ 入射角度精度：0.01




光谱椭偏仪 - 可选配

■ CCD线阵列探测元件：200-850nm，350-1000nm
■ 样品显微镜
■ 高稳定性消色差补偿器
■ 透射测量架
■ XY移动样品台