产品介绍


HS-TRM-100型无接触式电阻率型号测试仪是基于涡流（Eddy Current）测试技术，能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。





无接触式电阻率型号测试仪-产品特点


■ 测试范围广，低阻可测至0.001ohm.cm，甚至0.0007ohm.cm,高阻可测至100ohm.cm


■ 产品体积小，便于移动和携带


■ 采用涡流法测试硅锭、棒、回炉料体电阻率


■ 无接触、无损伤快速测试


■ 测试前无需表面处理


■ 特别对于多晶，能够有效避免晶界对测试的影响


■ 测试范围：0.001-100 ohm.cm (分段测试）


■ 可选加无接触PN型号测试功能


■ 可进行温度和厚度的修正


无接触式电阻率型号测试仪-技术指标


■   硅棒硅块可测量电阻率范围：0.001-100Ohm.cm


■   最小测试厚度：200μm


■   测量时间：2秒/次


■   最小测试面积：30x30 mm2


■   推荐使用温度：20℃


■   湿度：≤80%


■   气压：86-106kPa


■   使用电压：230±10V


■   频率，50±3Hz


■   功率消耗：≤5W

尺寸（LxWxH）：280x200x60mm