产品介绍:
HS-MWR-2S-3无接触少子寿命扫描仪是一款功能异常强大的无接触少子寿命扫描仪，能够对单晶硅棒、多晶硅块及硅片提供快速、无接触、无损伤、高分辨率的多功能扫描测试，其通过微波光电衰退特性原理来测量非平衡载流子寿命的，并且单晶硅棒、多晶硅块无须进行特殊处理。少子寿命测试量程从0.1μs到30ms,电阻率要求范围：0.1-1000Ω.cm,，是太阳能电池硅片企业、多晶铸锭企业、拉晶企业不可多得的测量仪器。





产品特点


■ 无接触和无损伤测量


■ 自动测量，具有传送系统，可进行连续测量


■ 快速测量，测试扫描速度达到2000mm/min


■ 测试范围广：包括硅块、硅棒、硅片等少子寿命测量


■ 主要应用于硅棒硅块、硅片的进厂、出厂检查，生产工艺过程中重金属沾污和缺陷的监控等。


■ 性价比高，极大程度地降低了企业的测试成本。





推荐工作条件


■ 温度：18-26℃
■ 湿度：10%~80%
■ 大气压：750±30毫米汞柱





技术指标


■ 少子寿命测试范围:0.1μs-20ms


■ 测试扫描速度:2000mm/min


■ 测试尺寸:215mm215mm500mm


■ 电阻率范围：>0.1Ω.cm


■ 激光波长：904,测试功率范围：50-500mw


■ 硅棒硅块扫描间距：≥1mm


■ 仪器测试精度：±3.5％，信号处理偏差≤2％


■ 工作频率：10GHz±0.5


■ 微波测试单元功率：0.01W±10%


■ 电源：～220V  50Hz    功耗＜200W


■ 主机尺寸：365mm 645mm 565mm


■ 主机重量：30KG