可根据客户需求设计尺寸，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；

采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 

采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；

采用最新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。