化学气相沉积炉技术特征

n 本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；

n 本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；

n 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

n 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；