PSA制氧设备主要由空压机、冷干机、除油器、吸附系统、氧气缓冲罐、控制系统组成。 　　1、空压机：空压机为整个系统提供原料空气，根据变压吸附制氧设备的产气量，选择符合设计条件的空压机进行供气。 　　2、冷干机：空压机对原料空气增压后，高温高压的压缩空气进入冷干机进行冷却、干燥、除杂，得到低温高压的压缩空气。 　　3、除油器：除油器将低温高压的压缩空气中的油雾去除，防止空气中的油雾对沸石分子筛的寿命造成影响。一般采用常压吸附真空解吸法(简称VPSA法)，VPSA制氧系统主要由鼓风机、真空泵、切换阀、吸附器和氧气缓冲罐组成。原料空气经口过滤器除掉灰尘颗粒后，被罗茨鼓风机增压至0.45barg而进入其中一只吸附器内。吸附器内装填吸附剂，其中水分、二氧化碳、及少量其它气体组分在吸附器入口处被装填于底部的活性氧化铝所吸附，随后氮气被装填于活性氧化铝上部的沸石分子筛所吸附。而氧气(包括氩气)为非吸附组分从吸附器顶部出口处作为产品气排至氧气缓冲罐。当该吸附器吸附到一定程度，其中的吸附剂将达到饱和状态，此时通过切换阀，首先经过一均压降压过程，将吸附塔死空间内的部分氧气回收，同时将吸附塔压力降至微负压，再利用真空泵对之进行抽真空(与吸附方向相反)。 　　4、吸附系统：吸附系统由两个装有沸石分子筛吸附剂的吸附塔和管道阀门等组成。低温高压的压缩空气从A塔底部进入，当流经吸附剂层时，空气中的氮气，二氧化碳，水蒸气等被吸附。氧气则通过吸附床层汇集到吸附塔顶部作为产品气输出。与此同时，B塔处于再生工况，当进行吸附的吸附塔快达到吸附饱和时，在控制系统的调节下，低温高压空气转而进到B塔开始吸附产氧。A、B塔如此交替轮流实现连续产氧的目的。 　　5、氧气缓冲罐：储存成品气（氧气），并对整套设备起到稳压作用。 6、控制系统：工程师将预编写的阀门控制程序输入到PLC控制器中，通过电磁阀调节各个气动阀的开闭PSA，VPSA制氧机与PSA制氧机的不同点实现吸附系统在指定的时间内经行吸附、再生。