UHP 超纯PFA气动隔膜(1“)2通阀 – PV-12系列
产品概览
PV-12系列是1"PFA气动隔膜阀,用于超高纯(UHP)和腐蚀性气体和液体处理系统,包括用于半导体制造操作。阀门有2通和3通型。3通型带有多功能安装底座,允许更多的安装灵活性,减少接头的使用,使它们有利于在空间受限区域使用。
PV-12系列具有成型PFA阀体和精密加工密封区域。利用氟聚合物涂层不锈钢弹簧减少腐蚀性环境的影响,确保与广泛的腐蚀性工艺介质兼容。阀门还配备了一体式改性聚四氟乙烯隔膜,提供较之传统PTFE聚四氟乙烯更高的循环寿命。根据客户需求,PV-12系列阀门可配套多种接口形式,包括Parflare和Parbond管接头。Parflare和Parbond接头节约装配时间和安装成本,确保洁净至关重要的应用中无泄漏密封的可靠性。
PV-12系列的榫槽密封确保可靠隔膜与阀体的可靠密封,形成更高的泄漏的完整性、更低的维修成本,和与工艺介质的隔离。此系列1”全通径提供紧凑型结构的最大流量(PV-12 Parbond接口最大15.7CV)。流量取决于结构和接口形式。阀门双向额定压力100psig,动作压力范围60 – 100 psig。
PV-12系列可选潜水型,隔离元件与外部环境,使阀门在潮湿或气体腐蚀性环境下工作时保持功能。
市场:
• 半导体
• 分析试验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业
特点/优势:
• 优秀的泄露完整性
• 改性聚四氟乙烯膜片和氟聚合物涂层不锈钢弹簧提供长久循环寿命和优异的耐腐蚀性
• 配备Viton® 氟橡胶密封
• 有2通和3通型
• 可配套多种连接方式,包括Parflare和Parbond管接头
• 动作压力范围:60 至 100 psig
• 1"全通径提供紧凑结构的最大流量
• 双向额定压力高达100 psig
• 环境温度范围:0°F 至 +150° F (-17°C 至 +66° C)
• 流体温度范围:0°F 至 +266° F (-17°C 至 +130° C)
应用:
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具挂钩
• 阀组箱 (VMBs)
性能特点
湿性材料PFA, 改性 PTFE
不湿润的材料PFA, PVDF, 氟橡胶密封, PTFE涂层不锈钢弹簧
压力范围27" HG 汞柱真空 (913 mbar) -100 psig (7 bar) (向前), 80 psig (5.5 bar) 带100 psig (3.4 bar) 入口压力, 100 psig (7 bar) 带 60 psig (4.2 bar) 入口压力 (向后)
驱动压力60psig (4.2 bar) 到 100 psig (7 bar)
最高外界温度(C)66°C
最高外界温度(F)150°F
最低环境温度(C)-17°C
最低环境温度(F)0°F
最大流体温度(c)130°C
最流体温度(F)266°F
最小流体温度(C)-17°C
最小流体温度(F)0°F
端口连接2(英寸)1" Parbond, 1" Parflare, 3/4" Parbond
流体容量(Cv)Cv 15.7, Cv 13.3, Cv 9.6
流量因子kv(l /mn)Kv 224.2, Kv 189.9, Kv 142.8
产品型号
PV-12-001
PV-12-002
PV-12-003
PV-12-005
PV-12-006
PV-12-007
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