激光干涉仪是实现大量程纳米测量的重要方法，具有测量精度高、测量范围大及对待测振动表面无干扰等特点，已广泛应用于航天器微振动的地面测试、雷达目标识别、精密机械制造、材料探伤等领域。

中图仪器SJ6000国产激光干涉仪可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等多几何参量的高精密测量，用于检测数控机床、自动化设备、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等，以及进行数控机床、三坐标测量机的精度补偿。

产品参数

产品型号：SJ6000
产品名称：SJ6000激光干涉仪
稳频方式：双频激光热稳频
稳频精度：0.05ppm
线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃
线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）
角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m
测量分辨力：1nm
动态采集频率：50KHz
预热时间：≤6分钟
工作温度范围：（0-40）℃
环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%
主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

SJ6000国产激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

产品特点

1. 测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量；

2. 在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

SJ6000国产激光干涉仪满足了我国各级计量院所、精密加工制造、数控机床、精密仪器等领域在高精度和大量程长度测量方面的需求，提升了我国自主的高精密激光测量水平和高端计量检定装备的水平。