1963年，美国洁净室标准FED-STD-209中，按每立方英尺中≥0.5mm粉尘数目的最高答应浓度，将洁净室分成若干等级，如100级、10,000级、100,000级。世界上很多国家都加以效仿。
1999年，国际标准化组织ISO颁布了一项国际标准《ISO14644-1洁净室与受控洁净环境》第一部分：空气洁净度分级。标准中采用了新的分级。
2001年，中国新颁布的洁净室设计标准中采用了ISO分级。
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