氩气Ar

工业氩

Ar≥99.99%，O₂≤10PPm，N₂≤70PPm，H₂O≤20PPm

参照纯氩标准

纯氩

Ar≥99.99%，O₂≤10PPm，H₂≤5PPm，N₂≤40PPm，H₂O≤10PPm，C H₄≤5PPm，CO≤5PPm，CO₂≤10PPm

GB/T4842-2006

高纯氩

Ar≥99.999%，O₂≤1.5PPm，H₂≤0.5PPm ，N₂≤4PPm，H₂O≤3PPm，(C H₄+CO+CO₂) ≤1PPm

液体氩

指标与同等级的气态氩相同（液态气不规定水分指标）