全氟橡胶ED密封圈（FFKM）类似聚四氟乙烯（PTFE）材料，全氟橡胶具有优异耐化学性和耐高温性。普通全氟橡胶ED密封圈工作温度为-250℃,特殊全氟橡胶ED密封圈温度可达300℃。

优点：耐热性极好，优异的抗化学特性；缺点：耐低温较差，原料价格偏高，生产难度比较大。全氟橡胶ED密封圈广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。