化学气相沉积
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青岛福润德供应pecvd设备
用等离子体增强的
化学气相沉积
法(PECVD)是在等离子的帮助下进行处理的薄膜沉积工艺。在众多的等离子产生办法中，泰斯达PECVD反应系统使用了高密度的等离子源，如高频（RF-PECVD）、微波（MW-PECVD）和电子
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