真空井式坩埚炉是由石英坩埚（或氧化铝坩埚）和不锈钢法兰组成的真空坩埚炉。主要用于煅烧真空或惰性气体中的高纯度化合物，退火或扩散半导体晶片；也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。

真空井式坩埚炉是由石英坩埚（或氧化铝坩埚）和不锈钢法兰组成的真空坩埚炉。主要用于煅烧真空或惰性气体中的高纯度化合物，退火或扩散半导体晶片；也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。