氢气
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CVD气相沉积炉
[中介]化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳
氢气
体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。
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