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IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器——纳米平移台质量控制方案
IDS3010皮米精度激光干涉仪激光位移传感器——主轴转动误差控
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IDS3005皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器——激光干涉测量
中图仪器SJ6000国产激光干涉仪
激光干涉仪是实现大量程纳米测量的重要方法，具有测量精度高、测量范围大及对待测振动表面无干扰等特点，已广泛应用于航天器微振动的地面测试、雷达目标识别、精密机械制造、材料探伤等领域。